9月24日，光刻機（膠）概念持續(xù)活躍，概念龍頭張江高科漲停，再創(chuàng)歷史新高。聯(lián)合化學(xué)、華軟科技、彤程新材、格林達漲停，南大光電、安集科技、富創(chuàng)精密、芯源微漲幅超過10%。
消息面上，9月23日，在第25屆中國國際工業(yè)博覽會開幕式上，首批上海市中試平臺示范名單發(fā)布，四家入選，包括光刻膠及原材料中試平臺、新型儲能測試基地（應(yīng)用示范電站）中試平臺、面向航發(fā)領(lǐng)域的高端機床裝備中試平臺，以及人形機器人中試平臺。當(dāng)日，芯上微裝攜多款重磅新品精彩亮相，并憑借卓越的技術(shù)實力，成功斬獲展會最高榮譽“工博會CIIF大獎”及“集成電路創(chuàng)新成果獎”。上海微電子(SMEE)展臺上首次公開亮相了極紫外(EUV)光刻機參數(shù)圖。
國金證券表示，上海微電子以及芯上微裝各自都展出重磅產(chǎn)品，背后對應(yīng)的是今年產(chǎn)業(yè)端重磅的“0—1”突破，先進封裝機臺正式量產(chǎn)、干法DUV近期將進入量產(chǎn)測試階段、國產(chǎn)EUV進入原理機搭建階段（本次展出為EUV概念驗證機），國產(chǎn)光刻機產(chǎn)業(yè)進入爆發(fā)元年。
根據(jù)華鑫證券研報，在國家政策支持下，國內(nèi)企業(yè)加速研發(fā)突破光刻機制造技術(shù)，目前國產(chǎn)光刻機在90nm及以下工藝節(jié)點方面取得了重要進展。例如，上海微電子自主研發(fā)的600系列光刻機已實現(xiàn)90nm工藝的量產(chǎn)，并正在進行28nm浸沒式光刻機的研發(fā)工作。近期，宇量昇與中芯國際的合作測試是國產(chǎn)光刻機突破的重要信號。從產(chǎn)業(yè)影響看，華鑫證券認為光刻機技術(shù)的突破將帶動上游材料、精密機械等配套產(chǎn)業(yè)升級，加速光刻膠、光學(xué)部件等“卡脖子”材料的國產(chǎn)化進程，形成“龍頭帶動、多點突破”的產(chǎn)業(yè)升級格局。
光刻機（膠）概念相關(guān)股票：聯(lián)合化學(xué)、華軟科技、張江高科、彤程新材、南大光電、上海新陽、晶瑞電材、芯源微、安集科技。
責(zé)任編輯：劉栩
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