上微推出新一代先進(jìn)封裝光刻機(jī) 首臺將于年內(nèi)交付

　　據(jù)上海微電子裝備集團(tuán)官方公眾號，昨日，上微舉行新產(chǎn)品發(fā)布會，宣布推出新一代大視場高分辨率先進(jìn)封裝光刻機(jī)。目前，上微已與多家客戶達(dá)成新一代先進(jìn)封裝光刻機(jī)銷售協(xié)議，首臺將于年內(nèi)交付。