供應(yīng)鏈傳出，臺(tái)積電供應(yīng)商之一的半導(dǎo)體材料大廠美商英特格(Entergris)除計(jì)劃在臺(tái)設(shè)廠外，也將開始供應(yīng)EUV光罩盒給臺(tái)積電南科廠與美國(guó)亞利桑那州廠。英特格去年底就宣布未來三至五年，將在臺(tái)灣投資2億美元(折合新臺(tái)幣近60億)在高雄設(shè)廠，并于今年2月獲得科技部審查通過設(shè)廠案。(中國(guó)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào))
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